荷蘭光刻機(jī)為什么厲害 荷蘭光刻機(jī)厲害的原因
1、強(qiáng)大的研發(fā)投入：光刻機(jī)是一個(gè)高精尖的技術(shù) ， 其技術(shù)難度是全球公認(rèn)的 ， 如果沒(méi)有持續(xù)強(qiáng)大的研發(fā)投入根本不可能到技術(shù)領(lǐng)先 。ASML從成立至今 ， 對(duì)于研發(fā)的投入都非常大 ， 比如2019年ASML的銷(xiāo)售額大概是21億歐元 ， 而研發(fā)費(fèi)用支出就達(dá)到了4.8億歐元 ， 研發(fā)費(fèi)用占營(yíng)收的比例達(dá)到22.8% ， 這個(gè)比例是非常高的 ， 正因?yàn)橛写罅抠Y金的投入 ， 所以ASML在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域一直處于領(lǐng)先地位 。
【荷蘭光刻機(jī)為什么厲害 荷蘭光刻機(jī)厲害的原因】2、美國(guó)以及歐盟的支持：雖然ASML是一家荷蘭公司 ， 但他背后卻有著歐盟以及美國(guó)的力量 ， 多關(guān)鍵技術(shù)都由美國(guó)以及歐盟國(guó)家提供 。比如德國(guó)先進(jìn)的機(jī)械工藝以及世界級(jí)的蔡司鏡頭 ， 再加上美國(guó)提供的光源 ， 這就使得ASML公司在光科技術(shù)方面飛速發(fā)展 ， 幾乎到達(dá)了無(wú)人能敵的境地 。
3、準(zhǔn)確抓住了技術(shù)轉(zhuǎn)折點(diǎn)：目前世界最頂尖的光刻機(jī)有三個(gè)廠家 ， 分別是ASML ， 尼康和佳能 。2007年之前這三大廠家其實(shí)并沒(méi)有太大的差距 ， 競(jìng)爭(zhēng)的轉(zhuǎn)折點(diǎn)是出現(xiàn)在2007年 。2007年ASML配合臺(tái)積電的技術(shù)方向 ， 推出了193納米的光源浸沒(méi)式系統(tǒng) ， 在光學(xué)鏡頭和硅晶圓片導(dǎo)入液體作為介質(zhì) ， 在原有光源與鏡頭的條件下 ， 能顯著提升蝕刻精度 ， 并成為高端科技的主流技術(shù)方案 。而當(dāng)時(shí)日本的尼康與佳能卻主推157納米光源的干式光刻 ， 這個(gè)路線后來(lái)被市場(chǎng)所放棄 ， 也成為尼康跟佳能邁入衰退的一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn) ， 后來(lái)才有了ASML的壟斷 。
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